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PFC (制冷剂)
PFC-14(四氟甲烷R14)
PFC-14(四氟甲烷R14)

产品名称:四氟化碳(Carbon tetrafluoride)

别名:全氟化碳(R14),     

CAS号:75-73-0

一.化学性质(特性)                               

在常温下,四氟化碳是无色、无臭、不燃的易压缩性气体,挥发性较高,是最稳定的有机化合物之一,不易溶于水。在900℃时,不与铜、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物.

二.物理性质: 


产品名称
四氯化碳 R14
物理性质:
分子量
88.01
沸点, °C
-128.1
熔点, °C
-183.6
临界温度, °C
-45.67
临界压力, Mpa
3.75
临界密度(g/cm3)
0.626
饱和蒸气压(kPa)
3650(-45.6℃)
液体密度(-130℃),g/cm3
1.613

ASHRAE安全级别

A1(无毒不可燃)

破坏臭氧潜能值(ODP)
0
全球变暖系数值(GWP)

0.57

包装规格
可重复使用高压钢瓶包装(需回收包装钢瓶):7kg/瓶,32kg/瓶,坦克。
质量指标:
纯度, %
≥99.8
水份, PPm
≤10
酸度, PPm
≤0.1
蒸发残留物, PPm
≤100
外观
无色,不浑浊
气味
无味
用途:
R14作为一款特种超低温制冷剂,主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等),R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。


三.主要用途

R14作为一款特种超低温制冷剂,主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等),R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。四氟化碳(四氟甲烷)是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

由于化学稳定性极强,CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。

关键词:四氟甲烷 四氟化碳 全氟化碳 R14,制冷剂R14 灭火剂R14,CF4,氟利昂-14,PFC-14