PFC (制冷剂)
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PFC-14(四氟甲烷R14)
产品名称:四氟化碳(Carbon tetrafluoride)
别名:全氟化碳(R14),
CAS号:75-73-0
一.化学性质(特性)
在常温下,四氟化碳是无色、无臭、不燃的易压缩性气体,挥发性较高,是最稳定的有机化合物之一,不易溶于水。在900℃时,不与铜、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物.
二.物理性质:
产品名称 | 四氯化碳 R14 | |
物理性质: | 分子量 | 88.01 |
沸点, °C | -128.1 | |
熔点, °C | -183.6 | |
临界温度, °C | -45.67 | |
临界压力, Mpa | 3.75 | |
临界密度(g/cm3) | 0.626 | |
饱和蒸气压(kPa) | 3650(-45.6℃) | |
液体密度(-130℃),g/cm3 | 1.613 | |
ASHRAE安全级别 | A1(无毒不可燃) | |
破坏臭氧潜能值(ODP) | 0 | |
全球变暖系数值(GWP) | 0.57 | |
包装规格 | 可重复使用高压钢瓶包装(需回收包装钢瓶):7kg/瓶,32kg/瓶,坦克。 | |
质量指标: | 纯度, % | ≥99.8 |
水份, PPm | ≤10 | |
酸度, PPm | ≤0.1 | |
蒸发残留物, PPm | ≤100 | |
外观 | 无色,不浑浊 | |
气味 | 无味 | |
用途: | R14作为一款特种超低温制冷剂,主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等),R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。 |
三.主要用途
R14作为一款特种超低温制冷剂,主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等),R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。四氟化碳(四氟甲烷)是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
由于化学稳定性极强,CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。
关键词:四氟甲烷 四氟化碳 全氟化碳 R14,制冷剂R14 灭火剂R14,CF4,氟利昂-14,PFC-14
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